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SL-F3000可以測量直徑 60~300mm(3~12in)的各類 晶體材 料(硅、玻璃、藍寶石等)的翹曲度、彎曲度、 厚度(透明)等,能夠 消除重力的變形影響,獲取材 料真實 的表面參數
主要針對藍寶石晶圓的崩邊、劃傷、刀紋、污漬等外觀缺陷的視覺檢測
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