亞皮秒紫外波長短，脈寬窄，材料吸收紫外光比吸收紅外光更容易，紫外光子直接打斷PVD鍍膜材料表面的分子鍵，這種方式不會產生高的熱量，俗稱“冷加工”，主要采用紫外激光(波長355nm)，加工出來的部件具有光滑的邊緣和不傷玻璃基材等優點。紫外亞皮秒PVD清除機非常成熟，直接利用激光器出光后通過擴束調整后連接到振鏡的光學系統，通過激光光束照射到工件表面，氣化掉表面PVD鍍膜。

光清洗系統針對PVD工具清洗，可以有效清除多層涂層，不會產生機械損傷，對焊縫或密封表面無損傷，減少加熱循環時間，綠色環保無需介質、化學試劑，不產生次級污染物，無需清理，一般反應室清洗在短短幾個小時內即可完成。

激光清洗技術甚至可以清除最難清洗的氣相沉淀層，包括類似金剛石碳涂層和其他耐磨涂層。捆綁式激光的威力能夠將這些“防彈涂層”蒸發汽化。最終，精密金屬基材能夠被安全且無損地清除干凈，且不產生殘渣。等離子體室內可以手動或半自動地進行有效的激光去涂層同時清理干凈。

PVD物理氣相沉積指利用物理過程實現物質轉移，將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能（強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。 然而在這個過程中，噴的漆層不僅粘附到目標表面，還要與周圍包括用于在反應室內把持零件的工具和夾具的表面整合起來。激光清洗系統可以高效的清潔PVD工具表面，避免過量的PVD噴涂材料會帶來不良影響，如降低工件公差，反應室密封性差，導致濕度上升、加熱時間延長。